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三星在第9代V-NAND金属化工艺中应用钼

导读 《科创板日报》3日讯,三星正在其第9代V-NAND的金属化工艺中应用钼。消息人士称,该公司已从Lam Research引进了5台钼沉积机用于该工艺,...

《科创板日报》3日讯,三星正在其第9代V-NAND的金属化工艺中应用钼。消息人士称,该公司已从Lam Research引进了5台钼沉积机用于该工艺,并计划明年再引进20台设备。 (THEELEC)

来源:财联社

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